В России создадут ? собственные литографы
Последний раз редактировалось EDDiE; 11.03.2022 в 09:34.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Этот новый литограф на 350нм, оказалось, хоть и основан на белорусском заделе (последний в СССР был 800нм), но окно экспонирования у него в 25 раз больше, и пластины 200мм (уже что-то).
https://rutube.ru/video/2aa625148f4b...240830/?r=plwd
Re: В России создадут ? собственные литографы
Да, весьма неплохо для 25-летнего перерыва(((Сообщение от JazMan
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
За 30 лет ничего не сделали ни в чем,советское наследие дожимают, так и останется. Был же начальничек, все менял часовые пояса и говорил, что все купим... Так и осталось, достаточно на 10 мин включить ящик. В реале ситуация фиговая - все покупается из поднебесной.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Если бы в РБ так же пролюбили бы все, и этого не было бы.
Смысл в том, что оно лучше, чем есть/было у белорусов. Можно уже не только 74-ю серию и ОУ выпускать, а что-то покрупнее)
Но почему то этот блохер не спросил о производительности установки...
На вид, она экспериментальная.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Согласен. Работаю с белорусскими коллегами - только положительные эмоции.
Re: В России создадут ? собственные литографы
На видео пластина с виду была Ф150мм (Зеленоград работает на ФФ100...150 мм). Скорость зависит ещё от размера кристалла, примерно будет где-то 30...100 пластин в час. Поскольку "советские Большие ИС, самые большие в мире" (С))), то для 100мм2 кристалла, с учётом выхода годных условно 50%, примерно, 20 кристаллов с пластины, то бишь, 1000 кристаллов в час, с учётом ремонта обородувания, ещё 50% долой (оно сильно будет ломаться, поверьте)) - 300тыс/месяц - хороший результат. Ещё пропустит ли столько тестирование - сборка -тестирование. Ну, выход годных может быть и 10% (ещё может быть рентабельно), простой на ремонте тоже больше, и т.д.))
Помнится в советское время в Павловском Посаде выпускали 2млн тразисторов в месяц,это, правда транзисторы, а не м/сх.
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Они там говорят, что легко перенастраивается на размер пластины 150(или 120, не помню)/200, по желанию заказчика.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Для 200 нужно строить отдельный завод, иначе не рентабельно. Отечественного оборудования под это дело нет, но китайцы может дадут, или даже построят))... просто, нужно ли оно нам сейчас?))
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Ну наконец-то тот комментарий которого ждал.
Отвечаю - на своё "Иии? Кому он нужен?"
Вокруг литографа строится завод. То есть - фактически, литограф это сердце/мозг/центр, как хотите, которое/ый определяет технологические нормы будущего завода микроэлектроники. Ну в принципе, кого я учу. Тут дядьки все грамотные. )))
Теперь задаёмся вопросом - стоит ли при нынешнем капиталистическом развитии России вкладываться в заранее устаревший завод. А ведь к выбранному литографу придётся закупить до тысячи единиц оборудования, стоимость которого ох как превышает стоимость первоначального литографа. И правильно люди заметили - 350 нм литограф, это прежде всего 150 мм пластина, а переход пожеланию заказчика на 8 дюймов, анонсирован, но не делается по принципу - типа теоретически возможно, мы не пробовали! ))
Есть несколько заводов в России которые до сих пор работают даже на 100 мм пластинах. Но эти заводы работают по принципу - не тронь, и не сломаешь. А перенастраивать весь техпроцесс с новым литографом??? - никто не будет!
И снова вопрос - кому он нужен? Показать всему миру, что мы можем делать литографы, смешно. Отчитаться перед министерством о проделанной работе, как задел для других литографов - наверное правильно. Но зачем эта шумиха в СМИ тогда?
Re: В России создадут ? собственные литографы
Мне тут человек, занимающийся разработкой и производством акустики в России, рассказал, что проблема не то что литографы создавать, а найти просто адекватного квалифицированного специалиста по покраске, фрезеровщика на CNC станках и т.п. Говорит, с кадрами реально проблема.
Понимание некоторых тенденций не освобождает от знания многих фактов
Re: В России создадут ? собственные литографы
Работаю тоже с ними. Такого же мнения. Нам иногда равняться надо на Белорусов.
---------- Сообщение добавлено 12:21 ---------- Предыдущее сообщение было 12:19 ----------
Микрон работает на 200 мм, остальное всё правильно.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Денег умыкнуть.
Re: В России создадут ? собственные литографы
На это больше похоже. Когда начинали ещё писать ТЗ, они не спросили заводы- а нужно ли кому это? Читал про проблемы с лазерами и оптикой, белорусы взялись на попробовать. Фактически литограф не наш, наши только деньги. Так что, думаю деньги уже тогда взяли, а получилось, что получилось. )))
А на верху особо не задумываются про нанометры. Им главное слово - "наш Литограф"!
На самом деле я знаю, что мы можем лучше!
Re: В России создадут ? собственные литографы
О! Значит я отстал от жизни..., ну, у нас 14 лет назд твёрдотельная кухня закрылась, мы на Ф100 работали. Я на Ангстрем иногда ездил, там тоже Ф100 был тогда.
Есть такое дело, в основном, старикашки занимаются, мой возраст +- 10лет))
Это так, да, правильнее построить заново, а старые корпуса можно оставить, например, под сборку-тестирование: гермозона, инфраструктура есть, кадры обучены.
Ну, в первую очередь спецзаказы, понятно дело. Кроме ПП микросхем есть ведь ещё масса применений - МЭМС, ПАВ-структуры, твёрдотельные гироскопы, датчики, и пр.
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Там где это нужно - обучают и трудоустраивают. Из ниоткуда специалисты не рождаются.
---------- Сообщение добавлено 14:03 ---------- Предыдущее сообщение было 14:00 ----------
Для это есть специалисты нано-профиля, можно пригласить - его все помнят.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Ангстрем так на 100 и остался. Только Микрон модернизацию прошёл. И трогать Ангстрем нельзя, уж много на него повязано. Как, в прочем, и микрон. Иначе вообще без микроэлектроники останемся.О! Значит я отстал от жизни..., ну, у нас 14 лет назд твёрдотельная кухня закрылась
Есть такое дело, в основном, старикашки занимаются, мой возраст +- 10лет))
Это так, да, правильнее построить заново, а старые корпуса можно оставить, например, под сборку-тестирование: гермозона, инфраструктура есть, кадры обучены.
Ну, в первую очередь спецзаказы, понятно дело. Кроме ПП микросхем есть ведь ещё масса применений - МЭМС, ПАВ-структуры, твёрдотельные гироскопы, датчики, и пр.
А про МЭМС, ПАВ и другие, - может быть. Хотя подозреваю и туда он не очень нужен. Да и для спецзаказов он (литограф) не особо окупаем.
В общем, есть в России программа развития электроники до 2030 года. Но, похоже, писали ее фантасты. 5 лет осталось, а воз и ныне там. Ни оборудования, ни химии, ни кадров.
Бум надеется на лучшее... а что делать!
Re: В России создадут ? собственные литографы
Не очень весело, да...
Бум..., вдруг случится чудо?
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Новость с 3Дньюс - https://3dnews.ru/1120520/v-rossii-z...nogo-litografa
Продублировал сюда, чтобы не лазить по ссылкам. Выделил важное. Курсивом комментарии.
В России завершены работы по созданию первого отечественного литографа
30.03.2025 [06:20], Алексей Разин
На примере китайской полупроводниковой промышленности можно понять, насколько важно наличие собственного оборудования для выпуска чипов в условиях ограниченности доступа к импортному. В России недавно завершились работы по созданию первого отечественного литографа, позволяющего работать с 350-нм технологией.
Источник изображения: ЗНТЦ
Об этом неделю назад сообщил Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ). Разработанный специалистами центра фотолитограф называется «установкой совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм», он был разработан в сотрудничестве с белорусской компанией ОАО «Планар». Установка была принята государственной комиссией, в настоящее время ведётся её адаптация к применяемым конечными потребителями техпроцессам, заключаются контракты на поставку серийного оборудования. В следующем году планируется завершить работы по созданию российского литографа, позволяющего работать с 130-нм нормами. - (Это уже интереснее).
«Новая совместная разработка имеет ряд преимуществ: существенно увеличена площадь рабочего поля — 22 × 22 мм по сравнению с предшествующей — 3,2 × 3,2 мм, на ступень больше максимальный диаметр обрабатываемых пластин — 200 мм вместо 150 мм. (Как и говорил 350 - это пока 150 мм) Кроме того, в мировой практике для производства данных литографов в качестве источника излучения используется ртутная лампа, в российской установке впервые использован твердотельный лазер – более мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром», — пояснил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.
Стоит отметить, что ведущий мировой производитель литографических систем — нидерландская компания ASML, в своём оборудовании, предназначенном для работы с сопоставимыми технологическими нормами, использовала источники излучения другого типа. Для техпроцессов класса 350 нм применялись ртутные лампы с длиной волны 365 нм, для техпроцессов 250 нм и более прогрессивных применялись источники излучения на базе фторида криптона с длиной волны 248 нм. Наконец, для норм 130 нм и тоньше использовались системы с глубоким ультрафиолетовым излучением (DUV) на основе фторида аргона с длиной волны 193 нм.
Твердотельные лазеры также использовались при производстве полупроводниковых компонентов ранее, но преимущественно во вспомогательных функциях типа анализа качества продукции и поиска дефектов, либо механической обработки кремниевых пластин. Теоретически, твердотельные лазеры могут применяться для экспонирования при производстве чипов по зрелым литографическим нормам от 250 нм и грубее, но та же ASML для этих целей с 90-х годов прошлого века использовала эксимерные источники лазерного излучения на основе фторидов криптона или аргона.
По мировым меркам оборудование для выпуска 350-нм чипов может казаться устаревшим, но соответствующие компоненты ещё способны найти применение в силовой электронике, автомобильной промышленности и оборонной сфере. Скорее всего, ЗНТЦ сделает основной упор на создание и продвижение литографов следующего поколения, которые уже позволят выпускать 130-нм чипы. (Как и говорил 350 нм это только первый шаг, далее 130, что уже интереснее, но фактически это будет 250) Теми же «Ангстремом» и «Микроном» они будут востребованы в большей степени, поскольку компании выпускают ассортимент продукции в диапазоне норм от 250 до 90 нм (не будут востребованы - там лучше литографы стоят - если только не заставят сверху). Поставленные правительством РФ цели подразумевают освоение 28-нм технологии к 2027 году и 14-нм технологии к 2030 году. Пока отечественные производители оборудования отстают от намеченного графика. - и не мудрено! ))
Но свет в конце туннеля уже есть!
---------- Сообщение добавлено 12:48 ---------- Предыдущее сообщение было 12:38 ----------
Тот же 3дньюс - https://3dnews.ru/1120411/sicarrier-...source=1120520
А вот в это верится намного больше, даже если это будет не 5 нм:
SiCarrier пообещала Китаю суверенные машины для производства 5-нм чипов без EUV
27.03.2025 [16:51], Павел Котов
Китай сможет использовать построенное местными компаниями оборудование для производства передовых полупроводников вопреки введённым США санкциям, которые закрыли Пекину доступ к передовым технологиям выпуска чипов, заявили в компании Shenzhen SiCarrier Industry Machines.
Китаю пришлось смириться с санкциями, которые лишили его доступа к передовому литографическому оборудованию для производства чипов, напомнил президент SiCarrier Ду Лицзюнь (Du Lijun), но страна может свободно применять собственные инструменты и выпускать на них чипы по нормам 5 нм. «Возможно, есть способ применять неоптические технологии, то есть использовать наше технологическое оборудование для решения некоторых проблем в области литографии», — заявил господин Ду на выставке Semicon China, которая открылась накануне.
SiCarrier продемонстрировала на мероприятии широкий ассортимент оборудования для травления и осаждения, а также оптические измерительные и инспекционные инструменты. Стенд компании оказался одним из наиболее посещаемых, а всего в выставке приняли участие более 1400 компаний. Ду Лицзюнь предупредил, что многопроходное формирование рисунка может понизить процент выхода годной продукции — только при переходе с 7 нм на 5 нм число этапов производства возрастает на 20 %. Тем не менее, лучше иметь мало чипов, чем вообще не иметь.
Многоэтапное нанесение рисунка, в котором оптическая литография заменяется различными этапами травления и осаждения, считается одной из альтернатив, способных помочь Китаю наладить выпуск продукции по нормам 5 нм — страну лишили доступа к литографическому оборудованию на сверхжёстком ультрафиолетовом излучении (EUV), которое выпускает только ASML. В 2023 году SiCarrier зарегистрировала в Китае патент на технологию многопроходного формирования рисунка. Для этого используется оборудование, работающее в глубоком ультрафиолете (DUV), и печать в четыре прохода, позволяющее получать компоненты, которые соответствуют нормам 5 нм. Решение помогает обходиться без EUV и предполагает снижение стоимости производства.
Основанная в 2021 году SiCarrier Technology полностью принадлежит государственному инвестиционному фонду из Шэнчжэня; её дочерняя компания SiCarrier Industry Machines, начавшая работу в 2022 году, вошла в чёрный список американского минторга наряду со 140 другими китайскими производителями. Оборудование SiCarrier уже применяется китайскими производителями полупроводников, в том числе Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), пишет Reuters со ссылкой на анонимный источник. Компания также сотрудничает с Huawei, стало известно накануне.
Re: В России создадут ? собственные литографы
AndOleg, В планах, возможно, есть строительство новых ПП и других "микро..." заводов, так что литографы пригодятся.))
«Не торопитесь соглашаться или опровергать. Не так уж важно, что утверждает или отрицает автор. Важно то, что он направляет Ваше внимание по определенному руслу». Павел Сергеевич Таранов.
Re: В России создадут ? собственные литографы
Масштабных проектов в планах до 2030 нет. Но они его(литограф) в Иран пристроят. В марте соглашение с ними подписали о сотрудничестве в сфере электроники. Им тоже деваться некуда, а боевые действия показали как будут вестись современные войны. До Китая нам далеко, а вот стратегические предприятия никто не отменял.
Не смотря ни на что, смотрю всё-равно с оптимизмом. Главное, что к нам (микро-электронщикам) лицом повернулись и задумались всё же о развитии микроэлектроники в России.
Ваши права
Ответить с цитированием
Социальные закладки