Offтопик:
Сообщение от
_Summit_
Я где-то слышал, что изначально заготовка круглая и стоит очень дорого, а потом из нее вырубаются квадратики. Количество квадратиков и отходов обратно пропорционально.
Да, кремниевые пластины - круглые, стандартных диаметров (сейчас вроде в ходу 200 и 300мм, но уже бывают и 450). Там дороговизна больших кристаллов определяется не столько отходами по краям пластины, сколько вероятностью получить много дефектов на конкретном кристалле. Грубо говоря, если на пластину во время экспонирования упала
отвёртка пылинка, то в случае с мелким кристаллом придётся выкинуть 0.1% пластины, а в случае со среднеформатной матрицей - может и десятки процентов. Обычно используется понятие "процент выхода годных".
С большими матрицами есть и другая проблема: каждый кристалл на пластине нужно засвечивать (экспонировать) через фотошаблон. Примерно как с фоторезистом на платах, но тут фотошаблон имеет размер значительно больше кристалла, и засвечивается через специальную оптику. Но с крупными матрицами эта оптика не всегда может позволить засветить весь кристалл за раз, и приходится делать это в несколько проходов с очень точным позиционированием, чтобы пиксели не наползли друг на друга, но и избыточного зазора тоже не было. Какой там размер пикселя нынче в моде?
Впрочем, я - чайник, тут есть коллеги, куда более сведущие в области производства ИС.
Социальные закладки