07.06.2024, 23:38
Это не так. ЭМ584 был одним из первых в мире пошаговых линзовых степперов, и уже в 1981 году давал около микрона разрешения. По тем временам - прекрасный результат. Другой вопрос, что никому это в то время было не нужно, гнали на них топологии, разработанные еще под контактную литографию. Но когда...