Для начала надо иметь что сбывать на мировых рынках, а для этого надо отработать многие технологические процессы, возродить целые направления химической промышленности, подтянуть научно-технические кадры. Как мне видится, на начальном этапе рынком сбыта могут быть: военка, высокопроизводительные...
Дальше только перходить на процессоры на основе оптики/фотоники
Хотя областей применения того же кремния 60-90 нм более чем достаточно, только работай, что называется.
На Юпупе есть отличный канал Asianometry, посвященный индустрии полупроводников, в частности и EUV литографии. Много всякого интересного в деталях описывает, весьма познавательно.
REW умеет (выбираешь спектроанализатор и там есть функция измерения на разных частотах при фиксированном уровне, либо на разных уровнях при фиксированной частоте).