MikeF
Завсегдатай

Это не так. ЭМ584 был одним из первых в мире пошаговых линзовых степперов, и уже в 1981 году давал около микрона разрешения. По тем временам - прекрасный результат. Другой вопрос, что никому это в то время было не нужно, гнали на них топологии, разработанные еще под контактную литографию. Но когда...

А может вовсе исключить С29? Настроить ток покоя, и, при необходимости, откорректировать С27,С28.

Я бы не стал так заявлять и считать всех недостаточно умными. Дело в том, что эти исследования - только небольшая часть небходимого "технологического тетриса", и без всего остального все равно не могут быть доведены до практического применения, тем более локально в условиях РФ. "Начальство" об этом...